圖片來(lái)源：安徽省工信廳

在納米尺度的研究和分析中，研究人員往往不僅要看清樣品表面或內(nèi)部的細(xì)微結(jié)構(gòu)，還要在目標(biāo)位置完成切割、減薄、沉積或樣品提取。將觀察與加工置于同一平臺(tái)，有助于縮短樣品轉(zhuǎn)移和重復(fù)定位的流程。

聚焦離子束電子束雙束顯微鏡將電子束觀察與離子束加工集成于同一平臺(tái)。電子束可用于樣品表面及截面的微觀形貌觀察；離子束則可用于定點(diǎn)切割、刻蝕、沉積、減薄等納米加工操作。二者協(xié)同，使研究人員能夠在同一設(shè)備上完成“觀察—定位—加工—再觀察"的連續(xù)工作流程。

在半導(dǎo)體失效分析、先進(jìn)封裝、新能源材料、金屬材料及器件研發(fā)等場(chǎng)景中，F(xiàn)IB是連接宏觀問(wèn)題與微觀證據(jù)的重要工具。以先進(jìn)存儲(chǔ)器分析為例，隨著3D NAND堆疊層數(shù)不斷提升，對(duì)大尺寸截面加工和超薄樣品制備的均勻性提出了更高要求。國(guó)儀量子此前發(fā)布的應(yīng)用驗(yàn)證顯示，DB550完成了覆蓋200余層堆疊結(jié)構(gòu)、橫向尺度超過(guò)10μm的大尺寸超薄截面制備，并通過(guò)多模式成像對(duì)加工結(jié)果進(jìn)行了驗(yàn)證。

國(guó)儀量子聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB550面向納米分析加工及透射電鏡制樣等應(yīng)用需求開發(fā)。產(chǎn)品采用低電壓高分辨電子鏡筒與超級(jí)減速方案，可在低電壓條件下保持亞納米級(jí)成像解析能力；新一代“承影2.0"離子鏡筒，則進(jìn)一步優(yōu)化了低壓分辨率與大束流加工表現(xiàn)。

• 產(chǎn)品核心優(yōu)勢(shì)

1.高壓隧道技術(shù)和無(wú)漏磁物鏡的電子鏡筒，高分辨率成像，兼容磁性樣品。

2.“承影"離子鏡筒，高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流，用于高質(zhì)量納米加工和TEM制樣。

3.機(jī)械手采用集成控制方式，通過(guò)成像界面精準(zhǔn)控制移動(dòng)。

4.自主可控，擴(kuò)展性強(qiáng)；離子源采用集成化設(shè)計(jì)，更換便捷；配備完善的售后服務(wù)體系。

國(guó)儀量子聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB550

此次DB550入選安徽省首臺(tái)套重大技術(shù)裝備名單，是國(guó)儀量子堅(jiān)持自主研發(fā)、持續(xù)完善產(chǎn)品能力的重要見證。未來(lái)，國(guó)儀量子將繼續(xù)面向半導(dǎo)體、材料、新能源等領(lǐng)域的實(shí)際需求，推動(dòng)高端電子顯微鏡在更多科研與產(chǎn)業(yè)場(chǎng)景中落地應(yīng)用，以可靠的儀器裝備與專業(yè)服務(wù)助力科學(xué)研究和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新。

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